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表2 - MEMS传感器技术规范

上述的混合测斜系统可用于垂直和水平布置，并可用于收敛测量。
在垂直配置中，安装倾斜仪系统的岩土体发生变形，导致管道变形，从而导致传感纤维的压缩和伸长。
因此，在安装了该系统的岩土体中，沿着四根纤维的应变剖面的详细测量，可以获得管道的三维变形，或测斜剖面。
倾斜仪系统被适当地放入要监测的地面上的钻孔中，并灌浆。一旦固化完成，第一次参考零点测量将作为后续测量的初始值。
相反的，混合技术中的测斜仪系统采用水平布置，即使在与地面平行的平面上也能测量位移和变形。该特征可用于监测滑坡前缘相对于其外部位置的水平位移。
如果系统被布置在隧道的断面上，它可以进行较精确的收敛测量。
 
该混合式测斜仪具有通用性强、体积小、性能高的优点，较好克服了使用传统仪器有关的限制，较好防止由相同的地面变形对系统造成的损害。